薄膜電阻器設(shè)計膜孔可以用來優(yōu)化熱導(dǎo)傳感器
來源：萬利隆電子 人氣：發(fā)布時間：2020-11-10
在薄膜電阻器設(shè)計中增加空穴來提高靈敏度的熱導(dǎo)式氣體傳感器。薄膜電阻器建立了數(shù)值模型，并針對參考熱導(dǎo)傳感器進行了驗證。這種數(shù)值模型用于研究在加熱電阻兩側(cè)通過膜的隔離孔的優(yōu)點。這些孔增強了魯棒性，并將由壓力差引起的災(zāi)難性故障最小化，同時通過增強對流相互作用提高了靈敏度。
薄膜電阻器這種設(shè)計結(jié)果表明，電熱效率提高了16%，而測量二氧化碳百分比的靈敏度提高了39.2%。研究還表明，增加孔的寬度對這些靈敏度沒有顯著影響;因此，可以加入小孔，為不同的測量技術(shù)在膜上的多個薄膜電阻器留下空間。膜孔可以用來優(yōu)化熱導(dǎo)傳感器，并將作為參考，當(dāng)這些薄膜電阻器設(shè)計制作和測試，導(dǎo)致一個新的低功率，高靈敏度的氣體傳感器。
薄膜電阻器及薄膜電阻器制造方法是一種形成半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，薄膜電阻器接觸的至少一個第一接觸，以及形成與薄膜電阻器接觸的至少一個第二接觸.薄膜電阻器被構(gòu)造和設(shè)置為使電流從第一接觸通過所述電阻器的中心部分而流到至少一個第二接觸.薄膜電阻器包括沿與電流平行的方向從中心部分向外橫向延伸的至少一個延伸部.這種方法包括基于這種電阻器的熱擴散長度設(shè)和延伸部的尺寸.
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